石英部品

半導体製造プロセスにおいて、石英は依然として広く用いられている。目新しいものではないが、信頼性が高く、ほとんどの製造工場はその特性を熟知している。純度を適切に管理すれば、拡散、酸化、洗浄といった工程で良好な性能を発揮する。

多くの石英部品は、炉システムやPECVD装置に使用されます。求められるのは安定性であり、必ずしも長寿命である必要はなく、予測可能な性能が重要です。これは、多くの標準的なプロセスにとって通常十分な条件です。

もちろん、石英にも限界はある。特定の条件下では、特に炭化ケイ素（SiC）と比較すると、摩耗が早くなることがある。しかし、比較的入手しやすく、価格もそれほど高くないため、今でも広く使われている。