アルミナセラミックス

アルミナは、性能が最高とは言えないものの、決して劣っているわけでもない、中間的な位置づけの材料の一つです。適度な断熱性を持ち、温度変化にも比較的強く、ほとんどの場合、機械的にも安定しています。

アルミナ製の部品は、エッチング装置、イオン注入装置、真空チャンバー内部などに使用されています。極端に過酷な環境ではないものの、ある程度の信頼性が求められる場所で用いられています。

適切な処理を行えば、粒子発生を抑制できる。多くのユーザーにとって、それで十分だ。アルミナが人気を維持しているもう一つの理由はコスト面にある。予算を大幅に圧迫することなく、必要な機能を果たすことができるのだ。