熱分解グラファイト（PG）コーティング

PyCコーティングは主にSiC結晶成長システム、特にPVT炉で使用されます。これは温度限界を押し上げるというよりも、グラファイト部品の経年変化を改善することを目的としています。

このコーティングは、流路案内リングや断熱構造などの部品上に比較的均一な層を形成します。これにより、ガスの浸透が抑制され、成長環境に悪影響を及ぼす可能性のある炭素関連の汚染が制限されます。

実際の使用においては、PyCコーティングされたフローガイドリングが最も一般的ですが、同じ考え方はサポートリングやサーマルシールドにも当てはまります。多くのユーザーにとって、ここでの目標は単純です。より高い温度耐性を追求するのではなく、システムを長期間にわたって安定させることです。