ガラスカーボンコーティング

ガラス状炭素コーティングは、清浄度が何よりも重要となる場合に一般的に使用されます。これにより、グラファイト表面に滑らかで不活性な層が形成され、運転中の粒子発生を低減するのに役立ちます。

シリコン結晶成長、エピタキシャル成長、MOCVDサセプターなどの用途で見られます。場合によっては、半導体以外の分野、例えば冶金用工具などにも使用されています。

興味深い用途の一つは、MBE（分子線エピタキシャル成長）システムにおける使用例です。電気抵抗率が高いため、特定の部品をより効率的に動作温度に到達させることができ、場合によっては追加の冷却を必要としません。最も一般的なコーティングではありませんが、特定の環境、特に汚染管理が厳格な環境では、実用的な選択肢となり得ます。