製品

• CVDコーティング

  • CVD シリコンカーバイド (SiC) コーティング
  • CVDタンタルカーバイド（TaC）コーティング
  • 熱分解グラファイト（PG）コーティング
  • ガラスカーボンコーティング

• 半導体セラミック

  • SiCセラミックス
  • 石英部品
  • アルミナセラミックス
  • シリコン部品

• 半導体カーボン

  • 炭素繊維
  • グラファイト

• 半導体パッケージ材料

  • オーガニック包装資材
  • 無機包装材料

• CVDシリコンカーバイド（SiC）結晶成長原料

  • 3C-SiC ウェハー
  • SiC結晶成長原料

• 半導体装置