CVDタンタルカーバイド（TaC）コーティング

TaCコーティングは、SiCが限界に達し始めた場合に検討されるのが一般的です。これは、温度とプロセス雰囲気の両方がより厳しいSiCエピタキシャル成長や結晶成長においてより頻繁に発生します。

融点がはるかに高いTaCは、特に水素やHClが存在する環境下で、長時間の高温曝露に耐えることができます。実際、これはPVT成長のようなプロセスにおいて大きな違いを生み出します。PVT成長では、熱安定性が結晶品質に直接影響を与えるからです。

代表的な用途としては、フローガイドリング、シードホルダー、るつぼ関連部品、および熱処理場内のその他の構造物などが挙げられます。これらの部品は長期間にわたり過酷な環境にさらされるため、劣化を抑制することが重要となります。一部の設備では、TaCがpBNなどの従来の材料、さらにはSiCコーティングされた部品に徐々に取って代わりつつありますが、これは依然としてコストとプロセス設計に左右されます。